QEMSCAN

Vor der QEMSCAN-Analyse sind verschiedene Kalibierschritte notwendig. Es werden das Röntgen-Spektrometer, das Rückstreuelektronenbild, der Probenstrom, die Spectral Engine, die Bildvergrößerung und die Rückstreuelektronenbild-Verschiebung kalibriert. Bei einer QEMSCAN-Messung wird die Probenoberfläche schrittweise abgerastert. Dabei werden sowohl Röntgenspektren-Signale als auch Rückstreuelektronenbild-Signale von jedem Punkt des Messrasters erfasst. Im Folgenden werden die Elemente jedes Röntgenspektrums identifiziert und quantifiziert. Die elementaren Intensitäten werden nach einer Reihe von Regeln mit einer Bibliothek von Mineralen (Species Identification Protocol - SIP) verglichen. Für jede Übereinstimmung wird der relevante Analysepunkt einem Mineral oder einer Phase zugeordnet.